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北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器 - 13366893229
北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器
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ALICAT MC系列气体质量流量控制器 安徽生物制药气体流量控制器
多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护
ALICAT MC系列气体质量流量控制器 安徽生物制药气体流量控制器 型号变体
低压损型号，多60 psia（MCW系列）
高压型号，160-320 psia（MCQ系列）
阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
配备气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）
ALICAT MC系列气体质量流量控制器 安徽生物制药气体流量控制器 阀门选项
您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持佳性能。
MC系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
具有PCA名称的MC系列—选配比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
MCP系列—选配大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以量
腐蚀性气体（MCS系列）
MC系列气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。