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北京芯笙微纳电子科技有限公司
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北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器
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武汉真空设备艾里卡特气体流量控制器 ALICAT MCE真空气体质量控制器
MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设为零时出现污染情况。
多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
性能
可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦气）
*预热时间
武汉真空设备艾里卡特气体流量控制器 ALICAT MCE真空气体质量控制器
工作条件
兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
武汉真空设备艾里卡特气体流量控制器 ALICAT MCE真空气体质量控制器
MCE或MCV系列包装清单：
MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
配件（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件