晶圆测试生产过程气体质量流量控制器 美国ALICAT质量流量控制器

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晶圆测试生产过程气体质量流量控制器 美国ALICAT质量流量控制器 系列参数

量程范围：40 g/h 至 100 kg/h

测量范围：0.2% –** F.S.

精度校准，NIST 可溯源（液体）：读数的 ±0.2% 或 ±0.05% F.S.，以较大者为准

精度校准，NIST 可溯源（气体）：读数的 ±0.5% 或 ±0.05% F.S.，以较大者为准

重复性：读数的 ±0.05% 或 ±0.025% F.S.，以较大者为准

零位稳定性：±0.05% F.S.

响应时间：<100ms

晶圆测试生产过程气体质量流量控制器 美国ALICAT质量流量控制器 系列操作条件

工作温度：–35 至 70°C（流体）； 0 至 60°C（环境）；咨询 Alicat 了解更多选项

耐压：1500 PSIA 大部分单位； 40 g/h 单位为 200 PSIA；可选 4000 PSIA，≥100 g/h

设备的定制范围从 40 g/h 到 100 kg/h ，可测量范围为 0.2% 到 ** F.S.。

有关所有设备的规格，请参阅 CODA KM 系列设备规格。

如需全面的设备指南，请阅读 CODA 仪表操作手册。