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北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器 - 13366893229
北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器
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基于压力的质量流量仪表的：
在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
4 ms响应时间
*预热
四个过程变量
内置的显示
工业协议
压力补偿
温度补偿
宽动态流量范围
*详细规格见产品说明书*
MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。
性能
可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
*预热时间
工作条件
兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）