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北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器 - 13366893229
北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器
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艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
美国艾里卡特 ALICATMC-500SCCM-D氮气质量流量控制器
多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
性能
可用量程：较大0-5000 slpm；较小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
*预热时间
美国艾里卡特 ALICATMC-500SCCM-D氮气质量流量控制器
工作条件
兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
较大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
型号变体
低压损型号，较多60 psia（MCW系列）
高压型号，160-320 psia（MCQ系列）
阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
配备气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）