射频与半导体元件的冷却液体质量流量控制器 alicat液体质量流量控制器可准确完成水或甲醇、异丙醇、乙醇、、二甲基、戊烷、噻吩、标准异辛烷或庚烷等其它液体的流量测量并对其进行稳定控制。所有液体流量仪表均配备放液螺钉,方便拆除集气袋。
LC系列液体流量控制器特点如下:采用高速比例控制阀进行控制或分配应用。
对于没有控制阀的液体流量测量作业,请选择L系列液体流量计,实时测量流量、压力和温度。
LB系列便携式液体流量计加装了可充电电池,方便检验实验室外部的液体流量。
射频与半导体元件的冷却液体质量流量控制器 alicat液体质量流量控制器性能
可用量程:较大0-10 lpm;较小0-0.5 ccm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
可调比:50:1
校准精度(NIST可溯源):±2%满量程
可重复性:2%满量程
标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
*预热时间
射频与半导体元件的冷却液体质量流量控制器 alicat液体质量流量控制器工作条件
默认标定液体:水
其它标定液体(必须在订购时提出):甲醇、异丙醇、乙醇、、二甲基、异戊烷、噻吩、标准异辛烷、庚烷
工作温度:-10°C(未结冰)至+60°C
较大内部压力(静态):100 psig(115 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
包装清单
LC系列液体流量控制器(电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
射频与半导体元件的冷却液体质量流量控制器 alicat液体质量流量控制器
配件(需另行订购)
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件