北京芯笙微纳电子科技有限公司

单晶炉气体流量控制器 ALICAT气体质量流量控制器

多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COER™气体编辑器确定自己的气体组成。

连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

耐用。MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。

单晶炉气体流量控制器 ALICAT气体质量流量控制器性能

可用量程：较大0-1000 slpm；较小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

可调比：200:1（MC系列）

标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

可重复性：0.2%满量程

标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

*预热时间

单晶炉气体流量控制器 ALICAT气体质量流量控制器工作条件

兼容气体：98种预置可选气体；利用COER气体编辑器自定义的其它混合气体

工作温度：-10°C至+60°C

较大内部压力（静态）：45 psig（60 psia）

耐受压力：175 psig（190 psia）

STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）