基于压力的质量流量仪表的较高性能:
在大多数流量仪表上0.6%的读数精度
4 ms响应时间
*预热
四个过程变量
内置的显示
工业协议
压力补偿
温度补偿
宽动态流量范围
南通ALICAT气体质量流量控制器 MC-100SCCM-D质量流量控制器性能
可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
可重复性:0.5%满量程
标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
预热时间:70ms,达到完整精度
南通ALICAT气体质量流量控制器 MC-100SCCM-D质量流量控制器工作条件
兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
工作温度:0°C至+50°C
较大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)