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北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器 - 13366893229
北京芯笙微纳电子科技有限公司
主营：质量流量计,质量流量控制器
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多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
艾里卡特Alicat提供先进的质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器解决方案。
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Specs
定制
零件编号
Applications
安徽半导体晶圆测试气体质量流量控制器进口ALICAT质量流量控制器 性能
可用量程：较大0-1000 slpm；较小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
可调比：200:1（MC系列）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
*预热时间
安徽半导体晶圆测试气体质量流量控制器进口ALICAT质量流量控制器 工作条件
兼容气体：98种预置可选气体；利用COER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
较大内部压力（静态）：45 psig（60 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
安徽半导体晶圆测试气体质量流量控制器进口ALICAT质量流量控制器 包装清单
MCW系列低压损气体质量流量控制器（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
安徽半导体晶圆测试气体质量流量控制器进口ALICAT质量流量控制器 配件（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件