浙江晶圆测试气体质量流量控制器 美国艾里卡特质量流量计 Alicat CODA KMO 系列科里奥利质量流量计和控制器专为小流量和高压应用而定制。 CODA 控制器与各种液体和气体(包括许多腐蚀性物质)兼容,并在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。
多功能 - 即使流体成分发生变化或未知,科里奥利技术也能提供高精度读数。
精度高 - NIST 可追溯精度达读数的 ±0.6%,重复精度达读数的 ±0.1%,适用于精度要求较低的应用。
兼容性强 - 提供与各种腐蚀性流体兼容的接液材料。
抗干扰 - 对外部振动的固有阻力减轻了环境过程干扰。
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浙江晶圆测试气体质量流量控制器 美国艾里卡特质量流量计 系列参数
量程范围:40 g/h 至 100 kg/h
测量范围:满量程的 1% –**
精度,NIST 可溯源(液体):读数的 ±0.6% 或 ±0.2% F.S.,以较大者为准
精度,NIST 可溯源(气体):读数的 ±1% 或 ±0.2% F.S.,以较大者为准
重复性:±0.1% F.S.
密度精度:±5 kg/m3
零位稳定性:±0.2% F.S.
响应时间:<100ms
浙江晶圆测试气体质量流量控制器 美国艾里卡特质量流量计 系列操作环境
工作温度:–35 至 70°C(流体); 0 至 60°C(环境);咨询 Alicat 了解更多选项
耐压:大部分量程1500 PSIA;200PSIA (40g/h量程);≥100g/h的量程可选配4000PSIA耐压
设备的定制范围从 40 g/h 满量程到 100 kg/h 满量程,可测量范围为满量程的 1% 到 **。
有关所有设备的规格,请参阅 CODA KMO 系列设备规格。
如需全面的设备指南,请阅读 CODA 仪表操作手册。