浙江ALICAT总代理气体质量流量控制器 半导体晶圆生产制造 Alicat CODA KCO 系列科里奥利质量流量控制器专为精密**低流量和高压应用而定制。 CODA 质量流量控制器与各种液体和气体(包括许多腐蚀性物质)兼容,即使在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速的工况时,也能为您提供高精确度测量和控制。
组成独立 - 即使流体成分发生变化或未知,科里奥利技术也能提供高精度读数。
准确性高 - NIST 可追溯精度达读数的 ±0.6%,重复精度达读数的 ±0.1%,适用于精度要求较低的应用。
兼容性强 - 提供与各种腐蚀性气体和液体兼容的接液材料。
抗干扰 - 对外部振动的固有阻力减轻了环境过程干扰。
FlowVision 软件(免费下载)
浙江ALICAT总代理气体质量流量控制器 半导体晶圆生产制造 系列参数
量程范围:40 g/h 至 100 kg/h
测量范围:5% –** F.S.
精度,NIST 可溯源(液体):读数的 ±0.6% 或 ±0.2% F.S.,以较大者为准
精度,NIST 可溯源(气体):读数的 ±1% 或 ±0.2% F.S.,以较大者为准
重复性:±0.1% F.S.
密度精度: ± 5 kg/m3
零位稳定性:±0.2% F.S.
响应时间:<1 s
浙江ALICAT总代理气体质量流量控制器 半导体晶圆生产制造 系列操作条件
工作温度:–35 至 70°C(流体); 0 至 60°C(环境);咨询 Alicat 了解更多选项
耐压:1500 PSIA 大部分单位; 40 g/h 单位为 200 PSIA;可选 4000 PSIA,≥100 g/h
设备的定制范围从 40 g/h 满量程到 100 kg/h 满量程,可测量范围为满量程的 5% 到 **。
有关所有设备的规格,请参阅 CODA KCO 系列设备规格。
如需全面的设备指南,请阅读 CODA 仪表操作手册。
组成和性能选项
通讯协议:模拟、RS-232, RS-485, Modbus RTU, EtherCAT, EtherNet/IP
接液材料:
标准:316L不锈钢和FKM
可选:FFKM、EPDM、PCTFE、316L不锈钢金属密封件;镍合金
防护等级:IP40或 IP67
配件||分开售卖
外接显示屏
电气连接电缆